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氮化物半导体装置及其制造方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101442184A, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 2009-05-27
发明人:  盐泽胜臣;  金本恭三;  大石敏之;  黑川博志;  川崎和重;  阿部真司;  佐久间仁
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