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一种III族氮化物衬底的生产设备 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1797711A, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2006-07-05
发明人:  刘祥林;  焦春美
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在硅衬底上生长氮化镓自支撑衬底材料的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1779910A, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2006-05-31
发明人:  刘祥林;  焦春美;  于英仪;  赵凤瑗
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