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Theoretical Model of Thermal Stress in the Film-Substrate System of Optical Thin Film 期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2022, 卷号: 51, 期号: S10, 页码: 5937-5945
作者:  Shi, Yunyun;  Xu, Junqi;  Li, Yang;  Liu, Zheng;  Zhang, Kaifeng;  Su, Junhong
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Films  thermal stress  composite beams  residual stress  
1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
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多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型