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HFCVD法制备纳米晶体碳化硅薄膜中氢流量对晶粒尺寸的影响 期刊论文
光子学报, 2009, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 823-826
作者:  Zhao Wu(赵武);  Zhang Zhiyong(张志勇);  Di Chunxue(翟春雪);  Deng Zhouhu(邓周虎)
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