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氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法
其他题名氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法
曾畅; 张书明; 刘建平; 王辉; 冯美鑫; 李增成; 王怀兵; 杨辉
2011-12-28
专利权人杭州增益光电科技有限公司
公开日期2011-12-28
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种新型氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法,本发明采用Al组分渐变的p-AlGaN作为光学限制层,通过极化掺杂的原理,实现三维空穴气。利用本发明可以提高受主Mg杂质的活化效率,降低器件电压,同时有效降低激光器内损耗。
其他摘要本发明公开了一种新型氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法,本发明采用Al组分渐变的p-AlGaN作为光学限制层,通过极化掺杂的原理,实现三维空穴气。利用本发明可以提高受主Mg杂质的活化效率,降低器件电压,同时有效降低激光器内损耗。
申请日期2011-07-25
专利号CN102299482A
专利状态授权
申请号CN201110208967.5
公开(公告)号CN102299482A
IPC 分类号H01S5/22
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91293
专题半导体激光器专利数据库
作者单位杭州增益光电科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
曾畅,张书明,刘建平,等. 氮化镓基半导体激光器外延结构及其制作方法. CN102299482A[P]. 2011-12-28.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN102299482A.PDF(639KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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