一种氮化镓基激光器管芯的制备方法

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	一种氮化镓基激光器管芯的制备方法
其他题名	一种氮化镓基激光器管芯的制备方法
	张书明; 王辉; 刘建平; 王怀兵; 杨辉
	2012-07-04
专利权人	苏州纳睿光电有限公司
公开日期	2012-07-04
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种氮化镓基激光器管芯的制备方法，包括如下步骤：1）在衬底上外延生长N型GaN电极接触层、N型光限制层、N型波导层、发光有源区、P型波导层、P型光限制层和P型电极接触层；得到氮化镓基激光器外延结构；2）将氮化镓基激光器外延结构刻蚀至P型光限制层，并刻去部分P型波导层，形成激光器的脊型结构；3）在上述激光器的脊型结构的表面蒸镀P型欧姆接触电极；4）在P型欧姆接触电极的表面形成p型层加厚电极；5）将衬底减薄；6）蒸镀N型欧姆接触电极金属；7）分割形成单个激光器的管芯。本发明的制备方法可以简化激光器的制作工艺，使激光器的脊型的侧壁形成金属接触，增大金属接触面积，减小接触电阻，降低工作电压，增加散热效果。
其他摘要	本发明公开了一种氮化镓基激光器管芯的制备方法，包括如下步骤：1）在衬底上外延生长N型GaN电极接触层、N型光限制层、N型波导层、发光有源区、P型波导层、P型光限制层和P型电极接触层；得到氮化镓基激光器外延结构；2）将氮化镓基激光器外延结构刻蚀至P型光限制层，并刻去部分P型波导层，形成激光器的脊型结构；3）在上述激光器的脊型结构的表面蒸镀P型欧姆接触电极；4）在P型欧姆接触电极的表面形成p型层加厚电极；5）将衬底减薄；6）蒸镀N型欧姆接触电极金属；7）分割形成单个激光器的管芯。本发明的制备方法可以简化激光器的制作工艺，使激光器的脊型的侧壁形成金属接触，增大金属接触面积，减小接触电阻，降低工作电压，增加散热效果。
申请日期	2012-01-16
专利号	CN102545051A
专利状态	失效
申请号	CN201210012559.7
公开（公告）号	CN102545051A
IPC 分类号	H01S5/22 \| H01S5/042
专利代理人	陶海锋 \| 陆金星
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90422
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	苏州纳睿光电有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	张书明,王辉,刘建平,等. 一种氮化镓基激光器管芯的制备方法. CN102545051A[P]. 2012-07-04.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102545051A.PDF（399KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文