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面発光半導体レーザ
其他题名面発光半導体レーザ
竹ノ内 弘和; 舘野 功太; 大礒 義孝; 伊藤 義夫; 天野 主税; 黒川 隆志
2003-09-05
专利权人日本電信電話株式会社
公开日期2003-11-25
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【課題】 より容易に面発光半導体レーザを作製できるようにする。 【解決手段】 クラッド層105上には、アモルファス状態のp形のGaAsとAlAsとが交互に積層された、多層膜反射鏡構造の光反射層106が形成されている。
其他摘要要解决的问题:通过在形成于第一光反射层上的第一覆层,有源层上的第二覆层上设置有源层,在覆层上沉积材料,形成第二光反射层,和第二光反射层,具有在第二包层上由多个非晶化合物半导体层构成的反射镜结构。解决方案:在n型GaAs衬底101上,通过交替外延生长GaAs和AlAs形成具有分布式布拉格反射镜(DBR)结构的光反射层102。在InP衬底101a上,外延生长InGaAs蚀刻停止层110,并且在阻挡层110上外延生长包层105,有源层104和包层103.在光反射层102的表面之后如图所示,包覆层103和光反射层102的外延生长表面彼此紧密粘合并通过退火彼此粘合。然后,通过交替形成p型GaAs和AlAs无定形状态,在包层103上形成光反射层106。因此,可以通过沉积材料来形成第二光反射层106。
申请日期1997-08-04
专利号JP3469051B2
专利状态失效
申请号JP1997208936
公开(公告)号JP3469051B2
IPC 分类号H01S | H01S5/125 | H01S5/00
专利代理人山川 政樹
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83491
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
竹ノ内 弘和,舘野 功太,大礒 義孝,等. 面発光半導体レーザ. JP3469051B2[P]. 2003-09-05.
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