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半導体発光装置
其他题名半導体発光装置
後藤 順; 中塚 慎一; 河田 雅彦; 大家 彰; 百瀬 正之
1997-11-18
专利权人HITACHI LTD
公开日期1997-11-18
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】II-VI族半導体を用いたレーザダイオードに対して、電流狭窄構造、および、光導波構造を容易に、かつ、再現性良く形成する作製法を与える。 【解決手段】マグネシウムを含むクラッド層を酸化する。 【効果】II-VI族半導体を用いたレーザダイオードの低閾電流化、および、横モードの制御が可能となり、信頼性の高い短波長レーザが得られた。
其他摘要要解决的问题:通过在II-VI族半导体上形成氧化物区域,容易地获得具有电流限制结构或光导结构的半导体发光器件,其适于保持发光器件的II-VI半导体的结晶度。限制当前流动的区域。解决方案:半导体层压结构包括含Mg的II-VI族化合物。半导体覆层或光导层和受保护的电极接合部分(在那里形成p或n电极)。包层或光导层被氧化以在其中形成氧化物区域。在基板1上,例如,生长Cl掺杂的ZnSe层2,包层3,超晶格光导层4,有源层5,超晶格光导层6,包层7和接触层8.条纹形成在中心部分上通过使用光致抗蚀剂30接触层8,通过使用光致抗蚀剂30作为掩模,去除接触层8,并且在包层7的两侧形成氧化物区域9,除了中心部分以形成电流路径。
申请日期1996-05-09
专利号JP1997298342A
专利状态失效
申请号JP1996114571
公开(公告)号JP1997298342A
IPC 分类号H01L33/40 | H01L33/06 | H01L33/30 | H01L33/14 | H01S5/00 | H01L33/28 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人小川 勝男
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/78013
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
後藤 順,中塚 慎一,河田 雅彦,等. 半導体発光装置. JP1997298342A[P]. 1997-11-18.
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