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受光素子付き面発光レーザ装置
其他题名受光素子付き面発光レーザ装置
小濱 剛孝; 大礒 義孝; 館野 功太; 黒川 隆志
1995-12-22
专利权人日本電信電話株式会社
公开日期1995-12-22
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 外部効率が極めて優れた受光素子付き面発光レーザの構造を提供することを目的とする。 【構成】 面発光レーザ(2,3,4,5)と、該面発光レーザ(2,3,4,5)からのレーザ光をモニタする受光素子(8)からなることを特徴とするものである。
其他摘要目的:稳定激光束输出,同时大大改善表面发射激光器的特性。组成:表面发射激光器部件的晶体,包括缓冲层2,由多层膜组成的第一半导体反射层3,包括有源层的间隔层4,由多层膜组成的第二半导体反射层5和InGaP层6形成在p型AlGaAs晶体的衬底1上。接下来,通过掩模在晶体中形成O +离子感染区域7。之后,对其进行退火,并进一步形成引脚8的晶体作为光接收元件。根据光接收元件部分形成由Au和掩模组成的电极,并且对InGaP层进行蚀刻。之后,在AlGaAs晶体基板1的背面形成n电极10,背面的AR涂层11和表面发射激光电极的p电极12作为公共电极。
主权项-
申请日期1994-06-15
专利号JP1995335976A
专利状态失效
申请号JP1994132703
公开(公告)号JP1995335976A
IPC 分类号H01S5/026 | H01S5/042 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人光石 俊郎 (外1名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67482
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小濱 剛孝,大礒 義孝,館野 功太,等. 受光素子付き面発光レーザ装置. JP1995335976A[P]. 1995-12-22.
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JP1995335976A.PDF(250KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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