一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构

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	一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构
其他题名	一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构
	吴根柱; 齐鸣; 张永刚; 李爱珍
	2003-03-05
专利权人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
公开日期	2003-03-05
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60％，减小阈值电流20－50％，并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性，能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比，本发明具有膜系结构简单，实施容易，成本低，更适合于生产领域等优点。
其他摘要	本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60％，减小阈值电流20－50％，并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性，能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比，本发明具有膜系结构简单，实施容易，成本低，更适合于生产领域等优点。
主权项	一种用于半导体激光器腔面反射涂层的膜系结构，其特征在于它由λ/4n厚氧化物薄膜/80-100nm厚Ag膜/40-50nm厚相同组成和结构的氧化物薄膜构成。式中λ为激光器激射波长，n为氧化物薄膜折射率，其值接近8。
申请日期	2002-08-23
专利号	CN1400698A
专利状态	失效
申请号	CN02136624.1
公开（公告）号	CN1400698A
IPC 分类号	H01S5/10
专利代理人	潘振甦
代理机构	上海智信专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66635
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	吴根柱,齐鸣,张永刚,等. 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构. CN1400698A[P]. 2003-03-05.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1400698A.PDF（304KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文