Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构 | |
其他题名 | 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构 |
吴根柱; 齐鸣; 张永刚; 李爱珍 | |
2003-03-05 | |
专利权人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
公开日期 | 2003-03-05 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构,目的是提高激光器输出功率,减小阈值电流,改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,以其它折射率接近8的氧化物介质膜,如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜,在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明,该涂层能使激光器功率提高60%,减小阈值电流20-50%,并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性,能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比,本发明具有膜系结构简单,实施容易,成本低,更适合于生产领域等优点。 |
其他摘要 | 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构,目的是提高激光器输出功率,减小阈值电流,改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,以其它折射率接近8的氧化物介质膜,如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜,在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明,该涂层能使激光器功率提高60%,减小阈值电流20-50%,并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性,能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比,本发明具有膜系结构简单,实施容易,成本低,更适合于生产领域等优点。 |
主权项 | 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的膜系结构,其特征在于它由λ/4n厚氧化物薄膜/80-100nm厚Ag膜/40-50nm厚相同组成和结构的氧化物薄膜构成。式中λ为激光器激射波长,n为氧化物薄膜折射率,其值接近8。 |
申请日期 | 2002-08-23 |
专利号 | CN1400698A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN02136624.1 |
公开(公告)号 | CN1400698A |
IPC 分类号 | H01S5/10 |
专利代理人 | 潘振甦 |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66635 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴根柱,齐鸣,张永刚,等. 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构. CN1400698A[P]. 2003-03-05. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN1400698A.PDF(304KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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