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红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法
其他题名红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法
赵勇明; 董建荣; 李奎龙; 孙玉润; 曾徐路; 于淑珍; 赵春雨; 杨辉
2013-11-20
专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
公开日期2013-11-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种红外半导体激光器的有源区,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1-mAs1-nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1-xAs1-yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。本发明采用InxGa1-xAs1-yBiy材料作为半导体激光器有源区的材料,基于晶格匹配生长,能够兼容DBR、DFB及垂直腔面发射激光器等其它类型激光器结构,且激光器采用无Al结构提高了器件的性能及寿命。本发明还提供了半导体激光器及其制作方法。
其他摘要本发明公开了一种红外半导体激光器的有源区,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1-mAs1-nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1-xAs1-yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。本发明采用InxGa1-xAs1-yBiy材料作为半导体激光器有源区的材料,基于晶格匹配生长,能够兼容DBR、DFB及垂直腔面发射激光器等其它类型激光器结构,且激光器采用无Al结构提高了器件的性能及寿命。本发明还提供了半导体激光器及其制作方法。
主权项一种红外半导体激光器的有源区,其特征在于,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1-mAs1-nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1-xAs1-yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。
申请日期2013-08-13
专利号CN103401144A
专利状态授权
申请号CN201310351168.2
公开(公告)号CN103401144A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人杨林 | 马翠平
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66506
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵勇明,董建荣,李奎龙,等. 红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法. CN103401144A[P]. 2013-11-20.
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