微小位移的半导体激光干涉测量仪

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	微小位移的半导体激光干涉测量仪
其他题名	微小位移的半导体激光干涉测量仪
	王向朝; 王学锋; 钱锋
	2000-08-09
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2000-08-09
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	一种微小位移的半导体激光干涉测量仪,包括同光轴地依次置有原光源、第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体;偏振分束器反射光束的方向上置有第二透镜和调制光源。调制光源和原光源均为半导体激光器。原光源的波长是通过正弦信号发生器与驱动器来控制调制光源的光强正弦变化,调制光源的输出光强加于原光源上,利用光热效应来调制的。而原光源输出光强不随时间变化,避免了已有技术中的补偿问题,提高了测量精度,使用操作简便。
其他摘要	一种微小位移的半导体激光干涉测量仪,包括同光轴地依次置有原光源、第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体;偏振分束器反射光束的方向上置有第二透镜和调制光源。调制光源和原光源均为半导体激光器。原光源的波长是通过正弦信号发生器与驱动器来控制调制光源的光强正弦变化,调制光源的输出光强加于原光源上,利用光热效应来调制的。而原光源输出光强不随时间变化,避免了已有技术中的补偿问题,提高了测量精度,使用操作简便。
主权项	一种微小位移的半导体激光干涉测量仪，包括：带第一直流电源(10)的原光源(1)发射光束前进的方向上同光轴地依次置有第一透镜(2)、分束器(3)、参考平板(18)和被测物体(5)，上述各部件除被测物体(5)外均置于机壳(19)内；在分束器(3)的反射光束(f2)上置有输出与连接到机壳(19)外的计算机(8)上的模数转换器(7)连接的接收元件(6)；其特征在于：在第一透镜(2)与分束器(3)之间同光轴地置有偏振分束器(17)；在偏振分束器(17)反射光束(f1)的方向上，依次置有第二透镜(16)和调制光源(15)；调制光源(15)带有连接有第二直流电源(14)和移相器(13)的驱动器(9)，其中移相器(13)经过正弦信号发生器(11)与连接到机壳(19)外的模数转换器(7)的控制器(12)相连。
申请日期	1999-07-23
专利号	CN2391169Y
专利状态	失效
申请号	CN99239062.1
公开（公告）号	CN2391169Y
IPC 分类号	G01B9/02
专利代理人	李兰英
代理机构	上海华东专利事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44864
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王向朝,王学锋,钱锋. 微小位移的半导体激光干涉测量仪. CN2391169Y[P]. 2000-08-09.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN2391169Y.PDF（279KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文