Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
面発光レーザ及びその製造方法 | |
其他题名 | 面発光レーザ及びその製造方法 |
舘野 功太; 竹ノ内 弘和; 大磯 義孝; 若月 温; 小濱 剛孝; 黒川 隆志 | |
专利权人 | 日本電信電話株式会社 |
公开日期 | 1997-01-28 |
授权国家 | 日本 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 【目的】エッチングプロセスを行うことなく平坦な表面を有した屈折率導波型の面発光レーザ及びその製造方法を提供する。 【構成】面発光レーザの作製における、結晶成長の後、素子周辺に加速されたイオンを注入し成長層深く欠陥5を形成し、その後欠陥5を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入し成長層深く酸化あるいは窒化する。 |
其他摘要 | [目的]提供一种不进行蚀刻处理的具有平坦表面的折射率引导表面发射激光器及其制造方法。 在表面发射激光器的制造中,在晶体生长之后,将加速的离子注入器件的外围以在生长层中形成深处的缺陷5,然后使缺陷5通过H 2 O,引入含有O或N的分子如NH 3以使生长的层深层氧化或氮化。 |
申请日期 | 1995-07-10 |
专利号 | JP1997027650A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | JP1995173801 |
公开(公告)号 | JP1997027650A |
IPC 分类号 | H01S5/00 | H01S3/18 |
专利代理人 | 吉田 精孝 |
代理机构 | - |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43662 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 日本電信電話株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 舘野 功太,竹ノ内 弘和,大磯 義孝,等. 面発光レーザ及びその製造方法. JP1997027650A. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
JP1997027650A.PDF(35KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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