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面発光レーザ及びその製造方法
其他题名面発光レーザ及びその製造方法
舘野 功太; 竹ノ内 弘和; 大磯 義孝; 若月 温; 小濱 剛孝; 黒川 隆志
专利权人日本電信電話株式会社
公开日期1997-01-28
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】エッチングプロセスを行うことなく平坦な表面を有した屈折率導波型の面発光レーザ及びその製造方法を提供する。 【構成】面発光レーザの作製における、結晶成長の後、素子周辺に加速されたイオンを注入し成長層深く欠陥5を形成し、その後欠陥5を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入し成長層深く酸化あるいは窒化する。
其他摘要[目的]提供一种不进行蚀刻处理的具有平坦表面的折射率引导表面发射激光器及其制造方法。 在表面发射激光器的制造中,在晶体生长之后,将加速的离子注入器件的外围以在生长层中形成深处的缺陷5,然后使缺陷5通过H 2 O,引入含有O或N的分子如NH 3以使生长的层深层氧化或氮化。
申请日期1995-07-10
专利号JP1997027650A
专利状态失效
申请号JP1995173801
公开(公告)号JP1997027650A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人吉田 精孝
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43662
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
舘野 功太,竹ノ内 弘和,大磯 義孝,等. 面発光レーザ及びその製造方法. JP1997027650A.
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