一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具

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	一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具
其他题名	一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具
	吴根柱; 齐鸣; 李爱珍; 张永刚
	2005-04-27
专利权人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
公开日期	2005-04-27
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具，其特征在于采用了非接触固定方式，避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15-0.25mm，间距为2-3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度，同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法，保证解理条从狭缝里掉不下来，所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态，并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝，所以由一个夹具一次可以装配好多解理条，并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀，本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。
其他摘要	本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具，其特征在于采用了非接触固定方式，避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15-0.25mm，间距为2-3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度，同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法，保证解理条从狭缝里掉不下来，所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态，并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝，所以由一个夹具一次可以装配好多解理条，并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀，本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。
授权日期	2005-04-27
申请日期	2002-12-13
专利号	CN1198954C
专利状态	失效
申请号	CN02151295.7
公开（公告）号	CN1198954C
IPC 分类号	C23C14/50 \| H01S5/10
专利代理人	潘振甦
代理机构	上海智信专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42910
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	吴根柱,齐鸣,李爱珍,等. 一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具. CN1198954C[P]. 2005-04-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1198954C.PDF（315KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文