Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
砷化镓基量子级联半导体激光器材料及生长方法 | |
其他题名 | 砷化镓基量子级联半导体激光器材料及生长方法 |
李路; 刘峰奇; 刘俊岐; 郭瑜; 周华兵; 梁凌燕; 吕小晶 | |
2009-01-14 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2009-01-14 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | 一种砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:利用分子束外延技术首先在砷化镓衬底上晶格匹配的下包层;步骤2:在晶格匹配的下包层上生长下波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤3:在下波导限制层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长上波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤5:在上波导限制层上生长欧姆接触层,完成砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长。 |
其他摘要 | 一种砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:利用分子束外延技术首先在砷化镓衬底上晶格匹配的下包层;步骤2:在晶格匹配的下包层上生长下波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤3:在下波导限制层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长上波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤5:在上波导限制层上生长欧姆接触层,完成砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长。 |
授权日期 | 2009-01-14 |
申请日期 | 2005-11-23 |
专利号 | CN100452584C |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200510086962.4 |
公开(公告)号 | CN100452584C |
IPC 分类号 | H01S5/343 | H01S5/00 |
专利代理人 | 汤保平 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40111 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李路,刘峰奇,刘俊岐,等. 砷化镓基量子级联半导体激光器材料及生长方法. CN100452584C[P]. 2009-01-14. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN100452584C.PDF(952KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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