半导体激光器芯片端面外观的检测系统

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	半导体激光器芯片端面外观的检测系统
其他题名	半导体激光器芯片端面外观的检测系统
	邱德明; 张振峰; 杨国良
	2019-03-05
专利权人	武汉盛为芯科技有限公司
公开日期	2019-03-05
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了半导体激光器芯片端面外观的检测系统，包括芯片载体、下视相机、芯片拾取装置、上视相机光源、光学装置以及上视相机；芯片拾取装置将半导体激光器芯片吸取到光学装置指定工作区域，上视相机光源设置在光学装置指定工作区域，为上视相机提供光源，光学装置将半导体激光器芯片的下表面及四侧面放大影像投射到上视相机中，上视相机获取芯片下表面及四侧面的放大成像图。本实用新型通过同轴显微物镜和多个侧面观察棱镜的光路设计，实现半导体激光器芯片多个端面的检测，避免了传统芯片外观检测中芯片旋转或者设置较多的显微镜的处理方法；同时光学装置与上视相机的配合设计，使得本系统结构简单，半导体激光器芯片外观检测效率高。
其他摘要	本实用新型公开了半导体激光器芯片端面外观的检测系统，包括芯片载体、下视相机、芯片拾取装置、上视相机光源、光学装置以及上视相机；芯片拾取装置将半导体激光器芯片吸取到光学装置指定工作区域，上视相机光源设置在光学装置指定工作区域，为上视相机提供光源，光学装置将半导体激光器芯片的下表面及四侧面放大影像投射到上视相机中，上视相机获取芯片下表面及四侧面的放大成像图。本实用新型通过同轴显微物镜和多个侧面观察棱镜的光路设计，实现半导体激光器芯片多个端面的检测，避免了传统芯片外观检测中芯片旋转或者设置较多的显微镜的处理方法；同时光学装置与上视相机的配合设计，使得本系统结构简单，半导体激光器芯片外观检测效率高。
授权日期	2019-03-05
申请日期	2018-08-10
专利号	CN208580048U
专利状态	授权
申请号	CN201821284110.5
公开（公告）号	CN208580048U
IPC 分类号	G01N21/95
专利代理人	余丽霞
代理机构	武汉维创品智专利代理事务所(特殊普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38273
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	武汉盛为芯科技有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	邱德明,张振峰,杨国良. 半导体激光器芯片端面外观的检测系统. CN208580048U[P]. 2019-03-05.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN208580048U.PDF（315KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文