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多光束半导体激光干涉纳米光刻技术及系统 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101916042A, 申请日期: 2010-12-15, 公开日期: 2010-12-15
发明人:  徐佳;  王作斌;  翁占坤;  宋正勋;  胡贞;  刘兰娇;  侯煜;  潘海艳
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