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用于预处理III族氮化物沉积的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN103548116A, 申请日期: 2014-01-29, 公开日期: 2014-01-29
发明人:  尤里·梅尔尼克;  陈璐;  湖尻英彦
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