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一种双面金属波导太赫兹量子级联激光器芯片及提高其解理合格率的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110048291A, 申请日期: 2019-07-23, 公开日期: 2019-07-23
发明人:  万文坚;  黎华;  曹俊诚;  沈寒松;  沈文;  江建兴
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