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适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101591775A, 申请日期: 2009-12-02, 公开日期: 2009-12-02
发明人:  杨保和;  李晓伟;  熊瑛;  吴晓国;  曲长庆
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