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一种改善VCSEL侧壁形貌的干法刻蚀方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110137804A, 申请日期: 2019-08-16, 公开日期: 2019-08-16
发明人:  刘恒;  王俊;  谭少阳;  荣宇峰;  曾冠澐
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