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可变偏振度的标准光纤光源装置 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102980661B, 申请日期: 2014-12-10, 公开日期: 2014-12-10
发明人:  徐楠;  李健;  李建威;  张志新
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一般波长或长波长光接触接近纳米光刻光学装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1553284A, 申请日期: 2004-12-08, 公开日期: 2004-12-08
发明人:  陈旭南;  罗先刚;  田宏;  石建平
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