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具有高介电常数限制孔的VCSEL器件及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110277732A, 申请日期: 2019-09-24, 公开日期: 2019-09-24
发明人:  张勇辉;  杭升;  张紫辉
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