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一种SOI混合集成激光器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109921282A, 申请日期: 2019-06-21, 公开日期: 2019-06-21
发明人:  陈思乡;  宋泽;  张奇;  吕康伟;  唐山;  熊焰
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