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Study on the Influence of Deposition Temperature on the Properties of Lanthanum Titanate Films 会议论文
2022 IEEE 7TH OPTOELECTRONICS GLOBAL CONFERENCE, OGC, So Univ Sci & Technol, Dept Elect & Elect Engn, Shenzhen, PEOPLES R CHINA, 2022-12-06
作者:  Li, Yang;  Xu, Junqi;  Su, Junhong;  Liu, Zheng
Adobe PDF(4572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2023/06/16
component  Lanthanum titanate films  residual stress  surface morphology  finite element analysis(FEA)