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Research on the properties of Ta2O5optical films prepared with APS plasma assisted deposition 会议论文
Seventh Asia Pacific Conference on Optics Manufacture, APCOM 2021, Shanghai, China, 2021-10-28
作者:  Pan, Yong-Gang;  Liu, Zheng;  Liu, Wen-Cheng;  Li, Mian;  Zhang, Si-Bao;  Luo, Chang-Xin;  Zhang, Chun-Juan
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Thin films  APS plasma assisted deposition  stress  refractive index