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Rapid thermal annealing for α-Si/metal/semiconductor waveguide for active control of surface plasmon polaritons propagation 会议论文
, Xi’an, China, 2014-09
作者:  Hui Zhang;  Yicen Li;  Dao Hua Zhang;  Ting Mei
Adobe PDF(99Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：200/0  |  提交时间：2015/05/22
Sidewall roughness measurement for shallow silicon etching based on atomic force microscope 会议论文
, Xi’an, China, 2014-09
作者:  Lei Wan;  Xuan Li;  Ning Zhu;  Rui-ying Zhang;  Ting Mei
Adobe PDF(51Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/1  |  提交时间：2015/05/25