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硅基微纳米混合结构光控太赫兹波调制器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108254944A, 申请日期: 2018-07-06, 公开日期: 2018-07-06
发明人:  文岐业;  金浓;  朱韵樵;  文天龙;  杨青慧;  陈智;  冯正;  谭为;  张怀武
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