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一种太赫兹波高速调制器及其制作方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102520532B, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张雄;  丛嘉伟;  郭浩;  崔一平
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