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基于SOI上硅基微结构的太赫兹调制器及系统和方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110095888A, 申请日期: 2019-08-06, 公开日期: 2019-08-06
发明人:  文岐业;  张豪;  申朝阳;  何雨莲;  杨青慧;  谭为;  冯正;  张怀武
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