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化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1392595A, 申请日期: 2003-01-22, 公开日期: 2003-01-22
发明人:  酒井士郎;  高松勇吉;  森勇次;  王宏兴;  小宫由直;  吴羽羚儿;  石滨义康;  纲岛丰
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