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Process research on micro-machining diamond microgroove by femtosecond laser 期刊论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 2019, 卷号: 198, 期号: 1(SI), 页码: 9-19
作者:  Dou, Jian;  Sun, Yu;  Xu, Muxun;  Cui, Jianlei;  Mei, Xuesong;  Wang, Wenjun;  Wang, Xintian
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Femtosecond laser  CVD diamond  microgroove  processing parameters