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Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010240879.2, 申请日期: 2020-03-31, 公开日期: 2020-08-14
发明人:  贾昕胤;  孙剑;  郝雄波;  张智南;  李思远;  刘学斌
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