Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法

OPT OpenIR > 光谱成像技术研究室

	Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法
	贾昕胤; 孙剑; 郝雄波; 张智南; 李思远; 刘学斌
	2020-03-31
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2020-08-14
授权国家	中国
专利类型	发明专利
产权排序	1
摘要	本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。
申请日期	2020-03-31
专利号	CN202010240879.2
语种	中文
专利状态	申请中
公开（公告）号	CN111531410A
IPC 分类号	B24B1/00 ; B24B13/01 ; B24B49/00
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95306
专题	光谱成像技术研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	贾昕胤,孙剑,郝雄波,等. Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法. CN202010240879.2[P]. 2020-03-31.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束（627KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文