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微机电系统动态特性三维测量装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN2613471Y, 申请日期: 2004-04-28, 公开日期: 2004-04-28
发明人:  史铁林;  刘世元;  白金鹏;  谢勇君
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