微机电系统动态特性三维测量装置

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	微机电系统动态特性三维测量装置
其他题名	微机电系统动态特性三维测量装置
	史铁林; 刘世元; 白金鹏; 谢勇君
	2004-04-28
专利权人	华中科技大学
公开日期	2004-04-28
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	微机电系统动态特性三维测量装置，属于精密测量领域，解决微机电系统高频高速运动的全三维可视化测量，提高测量精度和效率，该装置由控制部分和执行部分组成，执行部分包括激光二极管、CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、左侧和右侧水平物镜、遮光闸、参考平面镜及压电步进电机；控制部分由计算机通过电信号分别与信号发生器、并行接口、串行接口、数据采集卡连接，它们再分别电信号连接相应的压电激振台驱动器、延时发生器、脉冲电源、压电步进电机驱动器。本装置可实现MEMS器件表面三维形貌垂向运动及平面内运动的全三维可视化测量，测量频率200KHz，垂向运动测量精度5nm，平面内运动测量精度10nm。
其他摘要	微机电系统动态特性三维测量装置，属于精密测量领域，解决微机电系统高频高速运动的全三维可视化测量，提高测量精度和效率，该装置由控制部分和执行部分组成，执行部分包括激光二极管、CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、左侧和右侧水平物镜、遮光闸、参考平面镜及压电步进电机；控制部分由计算机通过电信号分别与信号发生器、并行接口、串行接口、数据采集卡连接，它们再分别电信号连接相应的压电激振台驱动器、延时发生器、脉冲电源、压电步进电机驱动器。本装置可实现MEMS器件表面三维形貌垂向运动及平面内运动的全三维可视化测量，测量频率200KHz，垂向运动测量精度5nm，平面内运动测量精度10nm。
主权项	一种微机电系统动态特性三维测量装置，由控制部分和执行部分组成，执行部分包括工作台上方垂直光路中设置的CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、与透射反射分光镜成水平光路中设置的左侧水平物镜、遮光闸、右侧水平物镜、参考平面镜及与之连接的压电步进电机，控制部分包括计算机、压电步进电机驱动器；其特征在于执行部分光源采用激光二极管，工作台上设置有压电激振台，控制部分由计算机通过电信号分别与信号发生器、并行接口、串行接口、数据采集卡连接，信号发生器电信号分别连接压电激振台驱动器和延时发生器、延时发生器电信号连接脉冲电源，后者电信号连接激光二极管；并行接口电信号连接压电步进电机驱动器，后者电信号连接压电步进电机；串行接口电信号连接CCD相机，CCD相机与数据采集卡通过电信号互连。
申请日期	2003-04-11
专利号	CN2613471Y
专利状态	失效
申请号	CN03241230.4
公开（公告）号	CN2613471Y
IPC 分类号	B81C99/00 \| G01M7/02 \| G01M99/00 \| B81C5/00 \| G01M19/00
专利代理人	方放
代理机构	华中科技大学专利中心
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46841
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	华中科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	史铁林,刘世元,白金鹏,等. 微机电系统动态特性三维测量装置. CN2613471Y[P]. 2004-04-28.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN2613471Y.PDF（535KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文