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磁控溅射镀膜中工作气压对沉积速率的影响 期刊论文
真空, 2004, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 9-12
作者:  王璘;  余欧明;  杭凌侠;  赵保平;  王忠厚
Adobe PDF(321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/1  |  提交时间：2010/01/12