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Theoretical Model of Thermal Stress in the Film-Substrate System of Optical Thin Film 期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2022, 卷号: 51, 期号: S10, 页码: 5937-5945
作者:  Shi, Yunyun;  Xu, Junqi;  Li, Yang;  Liu, Zheng;  Zhang, Kaifeng;  Su, Junhong
Adobe PDF(1273Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2022/09/28
Films  thermal stress  composite beams  residual stress