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Particle field imaging and characterization using vcsel lasers for convergent multi-beam illumination 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: WO2019209866A1, 申请日期: 2019-10-31, 公开日期: 2019-10-31
发明人:  BACHALO, WILLIAM D.;  PAYNE, GREGORY A.;  IBRAHIM, KHALID;  FIDRICH, MICHAEL J.;  MANIN, JULIEN
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Methods and apparatus for detecting impurities in semiconductors 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0422780A2, 申请日期: 1991-04-17, 公开日期: 1991-04-17
发明人:  CARVER, GARY ERNEST;  MICHALSKI, JOHN DENNIS;  KOOS, GREGORY LEE
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Article comprising a SiOx layer and method of making the article 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0676797A2, 公开日期: 1995-10-11
发明人:  CHAND, NARESH;  OSENBACH, JOHN WILLIAM;  COMIZZOLI, ROBERT BENEDICT;  ROXLO, CHARLES BLAKELY;  TSANG,WON-TIEN;  KOLA,RATNAJI RAO
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