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一种大面积数字光刻光学系统 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN104142613A, 申请日期: 2014-11-12, 公开日期: 2014-11-12
发明人:  刘海勇;  周金运;  刘丽霞;  雷亮
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Optical coupling system for a high-power diode-pumped solid state laser 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US6377410, 申请日期: 2002-04-23, 公开日期: 2002-04-23
发明人:  WANG, ZHIJIANG;  GHEEN, ALICE Z.;  WANG, YING
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