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硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究 期刊论文
光子学报, 2004, 卷号: 33, 期号: 3, 页码: 371-374
作者:  刘月明;  田维坚;  张少君
Adobe PDF(193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/2  |  提交时间：2010/01/12