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可动态测量平面光学元件面形的测量装置及方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011537852.6, 申请日期: 2020-12-23, 公开日期: 2021-03-16
发明人:  段亚轩;  达争尚;  郑小霞;  董晓娜;  王拯洲;  张伟刚;  孙策;  蔺辉;  陈晓义;  范尧
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动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010494800.9, 申请日期: 2020-06-03, 公开日期: 2020-10-09
发明人:  段亚轩;  达争尚;  李红光;  李铭;  王璞;  陈晓义;  陈永权;  袁索超;  蔺辉
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基于动态定量相位成像的半导体晶圆表面形貌测量装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010495564.2, 申请日期: 2020-06-03, 公开日期: 2020-09-15
发明人:  段亚轩;  达争尚;  陈晓义;  王璞;  李铭;  王拯洲;  蔺辉;  魏际同
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