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Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator and method of making same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0261972A2, 申请日期: 1988-03-30, 公开日期: 1988-03-30
发明人:  ZDEBLICK, MARK
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Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator and method of making same 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0261972A2, 申请日期: 1988-03-30, 公开日期: 1988-03-30
发明人:  ZDEBLICK, MARK
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Epitaxial deposition of thin films 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: EP0336672A2, 公开日期: 1989-10-11
发明人:  EPLER, JOHN E.;  CHUNG, HARLAN F.;  PAOLI, THOMAS L.
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