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Method of making an article comprising an oxide layer on a GaAs-based semiconductor body 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US6271069, 申请日期: 2001-08-07, 公开日期: 2001-08-07
发明人:  CHEN, YOUNG-KAI;  CHO, ALFRED YI;  HOBSON, WILLIAM SCOTT;  HONG, MINGHWEI;  KUO, JENN-MING;  KWO, JUEINAI RAYNIEN;  MURPHY, DONALD WINSLOW;  REN, FAN
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