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Nanomechanical near-field grating apparatus and acceleration sensor formed therefrom 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: US7339738, 申请日期: 2008-03-04, 公开日期: 2008-03-04
发明人:  CARR, DUSTIN WADE;  BOGART, GREGORY ROBERT;  KEELER, BIANCA E. N.
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