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Substrate for epitaxial growth and epitaxial growth process 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: WO2008123242A1, 申请日期: 2008-10-16, 公开日期: 2008-10-16
发明人:  SUZUKI, KENJI;  SATO, TSUTOMU;  HIRANO, RYUICHI
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