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由物理气相沉积形成的氮化铝缓冲层和活性层 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN104428441B, 申请日期: 2017-04-12, 公开日期: 2017-04-12
发明人:  朱鸣伟;  奈格·B·帕蒂班德拉;  汪荣军;  维韦卡·阿格拉沃尔;  阿纳塔·苏比玛尼;  丹尼尔·L·迪尔;  唐先明
Adobe PDF(3562Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2019/12/26
由物理气相沉积形成的氮化铝缓冲层和活性层 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN104428441B, 申请日期: 2017-04-12, 公开日期: 2017-04-12
发明人:  朱鸣伟;  奈格·B·帕蒂班德拉;  汪荣军;  维韦卡·阿格拉沃尔;  阿纳塔·苏比玛尼;  丹尼尔·L·迪尔;  唐先明
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