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一种砷化镓的干法蚀刻工艺及其应用 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109216183A, 申请日期: 2019-01-15, 公开日期: 2019-01-15
发明人:  罗玉辉;  程元红;  邝智豪;  黄逸生
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一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109193340A, 公开日期: 2019-01-11
发明人:  罗玉辉;  程元红;  邝智豪;  黄逸生
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