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一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108879327A, 申请日期: 2018-11-23, 公开日期: 2018-11-23
发明人:  邹永刚;  裴丽娜;  李岩;  石琳琳;  金亮;  马晓辉;  王小龙
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