一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器

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	一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器
其他题名	一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器
	邹永刚; 裴丽娜; 李岩; 石琳琳; 金亮; 马晓辉; 王小龙
	2018-11-23
专利权人	长春理工大学
公开日期	2018-11-23
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种低应力微机电系统，从下到上包括有衬底电极层(1)、n型衬底(2)、下分布反馈布拉格反射镜(100)、有源区(5)、电流限制层(6)、P型欧姆接触层(7)、绝缘层(8)、注入电极层(9)、中空结构牺牲层(10)、上分布反馈布拉格反射镜(200)、调谐电极(13)。所述的低应力微机电系统悬臂结构(300)为低应力蝴蝶结状MEMS悬臂结构。本发明还相应公开了上述低应力微机电系统的制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器。低应力微机电系统悬臂结构的可调谐垂直腔面发射激光器，达到降低器件固定端应力，提高器件可靠性的目的。
其他摘要	本发明公开了一种低应力微机电系统，从下到上包括有衬底电极层(1)、n型衬底(2)、下分布反馈布拉格反射镜(100)、有源区(5)、电流限制层(6)、P型欧姆接触层(7)、绝缘层(8)、注入电极层(9)、中空结构牺牲层(10)、上分布反馈布拉格反射镜(200)、调谐电极(13)。所述的低应力微机电系统悬臂结构(300)为低应力蝴蝶结状MEMS悬臂结构。本发明还相应公开了上述低应力微机电系统的制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器。低应力微机电系统悬臂结构的可调谐垂直腔面发射激光器，达到降低器件固定端应力，提高器件可靠性的目的。
主权项	一种低应力微机电系统，其特征在于：从下到上依次为衬底电极层(1)、n型衬底(2)、下分布反馈布拉格反射镜(100)、有源区(5)、电流限制层(6)、P型欧姆接触层(7)、绝缘层(8)、低应力微机电系统悬臂结构(300)，所述的低应力微机电系统悬臂结构(300)包括：注入电极层(9)、中空结构牺牲层(10)、上分布反馈布拉格反射镜(200)、调谐电极(13)；上分布反馈布拉格反射镜(200)为低应力蝴蝶结状悬臂结构，其悬臂固定端为等腰梯形。
申请日期	2018-07-17
专利号	CN108879327A
专利状态	申请中
申请号	CN201810787717.3
公开（公告）号	CN108879327A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/187
专利代理人	范盈
代理机构	北京市诚辉律师事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57151
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	长春理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	邹永刚,裴丽娜,李岩,等. 一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器. CN108879327A[P]. 2018-11-23.

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CN108879327A.PDF（465KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文